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　　本技术属于半导体加工技术领域，公开了一种硅片吸附装置，包括三轴运动平台，三轴运动平台上设有下安装台，下安装台中部设有台阶孔，台阶孔内安装有下板架，下板架中部设有通孔，下板架的下端面上固定密封连接有玻璃板，且玻璃板封堵住通孔下端，下板架的上端面上活动密封连接有下掩模板，且下掩模板封堵住通孔上端，下掩模板上设有第一气孔。本技术所提供的硅片吸附装置，下板架的双赢彩票在线购彩 双赢彩票平台下端面上密封连接透明的玻璃板，下板架的上端面上活动密封连接下掩模板后形成一真空腔体，该真空腔体下端使用玻璃板密封，不遮挡光，从而可以将摄像镜头放置在三轴运动平台和玻璃板之间，方便上掩模板与下掩模板的对位操作。

　　1、在半导体加工领域，需要使用光刻机对硅片进行曝光，需要固定住下掩模板，并将上掩模板与下掩模板对位后将放硅片在下掩模板上进行曝光。目前虽然有可以真空吸附的硅片的装置，吸附装置方便了硅片的吸附，但下掩模板的固定以及上掩模板与下掩模板的对位操作反而可能受到影响，因此设计一款硅片吸附装置，既可以解决硅片的吸附问题，又能方便下掩模板的固定以及上掩模板与下掩模板的对位操作，是目前需要解决的问题。

　　1、本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题。为此，本技术目的在于提供一种硅片吸附装置。

　　3、一种硅片吸附装置，包括三轴运动平台，三轴双赢彩票在线购彩 双赢彩票平台运动平台上设有下安装台，下安装台中部设有台阶孔，台阶孔内安装有下板架，下板架中部设有通孔，下板架的下端面上固定密封连接有玻璃板，且玻璃板封堵住通孔下端，下板架的上端面上活动密封连接有下掩模板，且下掩模板封堵住通孔上端，下掩模板上设有第一气孔，第一气孔与真空源连通。

　　1.一种硅片吸附装置，其特征在于：包括三轴运动平台(1)，三轴运动平台(1)上设有下安装台(2)，下安装台(2)中部设有台阶孔，台阶孔内安装有下板架(3)，下板架(3)中部设有通孔，下板架(3)的下端面上固定密封连接有玻璃板(4)，且玻璃板(4)封堵住通孔下端，下板架(3)的上端面上活动密封连接有下掩模板(5)，且下掩模板(5)封堵住通孔上端，下掩模板(5)上设有第一气孔(6)，第一气孔(6)与线所述的硅片吸附装置，其特征在于：所述下安装台(2)的侧面上设有气缸(7)，气缸(7)的端部设有压块(8)，下板架(3)的至少一个侧面上设有凸块(9)，压

　　1.一种硅片吸附装置，其特征在于：包括三轴运动平台(1)，三轴运动平台(1)上设有下安装台(2)，下安装台(2)中部设有台阶孔，台阶孔内安装有下板架(3)，下板架(3)中部设有通孔，下板架(3)的下端面上固定密封连接有玻璃板(4)，且玻璃板(4)封堵住通孔下端，下板架(3)的上端面上活动密封连接有下掩模板(5)，且下掩模板(5)封堵住通孔上端，下掩模板(5)上设有第一气孔(6)，第一气孔(6)与线所述的硅片吸附装置，其特征在于：所述下安装台(2)的侧面上设有气...